真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統(tǒng)的主要結構材料。具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270—900℃工作等優(yōu)點，在高真空和超高真空系統(tǒng)中，應用廣泛。

近年來，為了降低真空腔體的制作成本，采用鑄造鋁合金來制作腔體也逐漸普及。另外，采用鈦合金來制作特殊用途真空腔體的例子也不少。

為了減小腔體內(nèi)壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統(tǒng)的腔體，更多的是利用電解拋光來進行表面處理。

焊接是真空腔體制作中重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學反應從而影響焊接質量，通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氬氣，以防止熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應。超高真空腔體的氬弧焊接，原則上必須采用內(nèi)焊，即焊接面是在真空一側，以免發(fā)生虛漏。

真空腔體的內(nèi)壁表面吸附大量的氣體分子或其他有機物，成為影響真空度的放氣源。為實現(xiàn)超高真空，要對腔體進行150—250℃的高溫烘烤，以促使材料表面和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經(jīng)濟簡單的烘烤方法是使用加熱帶，加熱帶的外面再用鋁箔包裹，防止熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱。

北京錦正茂科技有限公司擁有專業(yè)真空腔體設計制造技術，根據(jù)工業(yè)和研究中心的高要求制造腔體，用于高真空和超高真空制程或學術研究設備。錦正茂依照客戶訂制的需求客制化真空腔體(箱體)，分析您的需求以找到適合的應用設計，并擁有良好品質的制造質量保證，提供安裝和咨詢現(xiàn)場服務解決方案的協(xié)助。此外，錦正茂科技亦有生產(chǎn)和供應范圍廣泛的真空零組件和真空配件，例：真空法蘭、真空配件、真空波紋管以及藍寶石真空視窗等，可應用于真空腔體(箱體)上。

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