真空腔體作為現(xiàn)代科技領(lǐng)域的重要設(shè)備，其分類方式多樣，主要依據(jù)結(jié)構(gòu)形式、制造材料、真空度等級及專用功能進行劃分。不同類型的真空腔體在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中發(fā)揮著重要的作用。

從結(jié)構(gòu)形狀來看，常見的真空腔體包括垂直型、水平型和立方型。垂直腔體采用圓柱形設(shè)計，特別適合空間受限的應(yīng)用場景；水平腔體則更適用于長尺寸工件的連續(xù)處理；立方腔體因其多面體結(jié)構(gòu)而便于集成多種功能接口。此外，針對特殊需求還可定制異形腔體。

材料選擇直接影響腔體性能。不銹鋼腔體憑借優(yōu)異的耐腐蝕性和低放氣率，成為高真空和超高真空環(huán)境的shou選。鋁合金腔體以其輕量化和良好的導(dǎo)熱性見長，而鈦合金腔體則在強腐蝕性環(huán)境中展現(xiàn)出**優(yōu)勢。

根據(jù)真空度要求，腔體可分為低真空、高真空和超高真空三個等級。低真空腔體結(jié)構(gòu)簡單，適用于一般工業(yè)應(yīng)用；高真空腔體需要特殊的表面處理工藝；超高真空腔體則對材料純度和表面光潔度有著近乎苛刻的要求。

功能型腔體針對特定工藝需求設(shè)計。真空鍍膜腔體集成了多種功能組件，高低溫測試腔具備**溫控能力，等離子體處理腔則配備了專業(yè)的電極系統(tǒng)。在選型時，需要綜合考慮密封方式、表面處理工藝和系統(tǒng)擴展性等因素，以確保設(shè)備性能與工藝需求的wan美匹配。