小型液氮低溫恒溫器能提供穩(wěn)定低溫并與外界隔絕的真空環(huán)境，可廣泛用于薄膜材料的光學(xué)，磁熱，超導(dǎo)和電學(xué)性能研究領(lǐng)域。系統(tǒng)通過液氮杜瓦和基片加熱裝置使樣品維持在所需的低溫高真空條件下，既能通過外接光源將光線引入真空室并輻照在樣品上或通過真空電極引線測試樣品的電學(xué)特性，也可實現(xiàn)薄膜的光電性能表征。熱負荷計算與分析表明，該系統(tǒng)可長時間保持所需的低溫真空環(huán)境，且該裝置具有結(jié)構(gòu)簡單，體積小和溫控穩(wěn)定等優(yōu)點，適于薄膜器件的真空低溫變溫研究。