真空環(huán)境的獲得比較困難，尤其是超高真空環(huán)境，其中主要的影響因素有以下幾點(diǎn)：

1. 部件生產(chǎn)過程中，其表面不可避免的會(huì)附著金屬碎屑和灰塵，因此在進(jìn)行抽空作業(yè)前，必須對部件表面進(jìn)行清潔，以保證環(huán)境盡快達(dá)到所需要求。

2. 在溫度和壓力的作用下，所有物質(zhì)都可以通過冷凝和蒸發(fā)在固液氣三種狀態(tài)下變化，因此物質(zhì)的聚集狀態(tài)對真空環(huán)境的影響巨大。

3. 吸附在部件表面的氣體在真空環(huán)境下會(huì)被解吸，之后逸到真空環(huán)境中，影響真空系統(tǒng)、另外真空系統(tǒng)通常由不同的密封件連接在一起，由于密封質(zhì)量的不同，因此整體的漏率對真空環(huán)境影響較大。

4. 為了獲得高質(zhì)量的真空環(huán)境，在操作過程中，可使用烘烤的方法增加氣體的解吸和擴(kuò)散，以便設(shè)備能更多的抽出金屬中逸出的氣體。

5. 由于解吸過程緩慢，為了防止冷凝蒸汽（如水蒸氣和其他可冷凝物）吸附在真空室內(nèi)壁上，造成避免不必要的污染，應(yīng)該使用干燥的氮?dú)獯婵諝鈱φ婵帐疫M(jìn)行排氣。