高低溫真空磁場探針臺T8-EM5的技術(shù)參數(shù)
錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環(huán)境的高精度實(shí)驗臺，它的諸多設(shè)計都是專用的。因此，高低溫磁場探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計。例如，要求的磁場值，均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等，均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián)；位移臺還可與磁流體密封搭配，實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動；除此之外，該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計優(yōu)化。
錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個（可選6個或8個）擁有高精度位移的探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。
測試范圍：
磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試，微電子機(jī)械系統(tǒng)，超導(dǎo)電性測試，納米電路的光電屬性，量子點(diǎn)和線，高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運(yùn)特性等。
技術(shù)指標(biāo)：
型號 ：T8-EM5
真空度：高達(dá)10-8Pa
腔體材質(zhì)：無磁不銹鋼或者鋁合金
磁場范圍：5000Gs@50mm
磁場方向 ：水平（可按用戶要求設(shè)計成豎直方向的）
配套電源：雙極性電源±70A
電源穩(wěn)定性 ：50ppm（可選10ppm）
制冷方式 ：液氦/液氮制冷/閉循環(huán)制冷機(jī)
溫度范圍 ：5K-325K可選500K
控溫分辨率：0.001K控溫儀相關(guān)
溫度穩(wěn)定性 ：優(yōu)于0.1K依賴于控溫儀
溫度傳感器 ：硅二極管/PT100/CernoxTM
傳感器數(shù)量： 樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個
樣品臺尺寸：（max） Φ50mm，平整度≤7μm
樣品臺固定方式： 真空硅脂/彈簧壓片
樣品臺材質(zhì)： 鍍金無氧銅
顯微鏡行程： X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm
放大倍數(shù) ：16~100X/20~4000X
真空腔觀察窗尺寸： 1.5inch
窗口材料 ：熔融石英（可選K9、氟化鈣等）
探針臂數(shù)量： 2、4、6、8可選
探針臂行程： (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換
位移精度 ：10μm /2μm/1μm/0.7μm可選
接口形式 ：普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA等
探針直徑 ：0.51mm
針尖直徑 ：10μm/5μm/1μm可選
探針材料： 鎢/GGB
供電電壓 ：AC380V 50Hz/60Hz
