半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)測試

半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)是表征和分析半導(dǎo)體材料的重要手段，可根據(jù)霍爾系數(shù)的符號判斷材料的導(dǎo)電類型?；魻栃?yīng)本質(zhì)上是運(yùn)動(dòng)的帶電粒子在磁場中受洛侖茲力作用引起的偏轉(zhuǎn)，當(dāng)帶電粒子(電子或空穴)被約束在固體材料中，這種偏轉(zhuǎn)就導(dǎo)致在垂直于電流和磁場的方向上產(chǎn)生正負(fù)電荷的聚積，形成附加的橫向電場。

根據(jù)霍爾系數(shù)及其與溫度的關(guān)系可以計(jì)算載流子的濃度，以及載流子濃度同溫度的關(guān)系，由此可以確定材料的禁帶寬度和雜質(zhì)電離能;通過霍爾系數(shù)和電阻率的聯(lián)合測量能夠確定載流子的遷移率，用微分霍爾效應(yīng)法可測縱向載流子濃度分布;測量低溫霍爾效應(yīng)可以確定雜質(zhì)補(bǔ)償度。與其他測試不同的是霍爾參數(shù)測試中測試點(diǎn)多、連接繁瑣，計(jì)算量大，需外加溫度和磁場環(huán)境等特點(diǎn)。