概況：

錦正茂JZM-D30室溫探針臺的諸多設計都是﹡用的，探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進行選配及設計。例如，要求的磁場型號，電源型號，磁場值，樣品臺的尺寸等，除此之外，該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用，可以提高磁場的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進行設計優(yōu)化。半導體材料測量設備JZM-D30室溫探針臺的技術指標。

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技術參數(shù)：

①磁場型號:EM3加長版
②電源型號:JP10-40，優(yōu)于50ppm
③磁場值:>1000Gs@60mm間距
④磁場分辨率:優(yōu)于0.1Gs
⑤三維探針座:高精度三維探針座4個
⑥載物臺直徑:30mm
⑦Y軸位移-15mm至200mm,精度優(yōu)于10微米

⑧X軸位移±15mm,精度優(yōu)于10微米
⑨Z軸行程10mm,精度優(yōu)于20微米
⑩R軸旋轉:360度粗調(diào)，±5°范圍內(nèi)精調(diào)，精調(diào)精度10'
?顯微鏡:體視顯微鏡，變倍范圍優(yōu)于10-150倍。

?機械加工精度優(yōu)于10微米。

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霍爾探頭技術參數(shù)

使用說明

1.將霍爾探頭接入高斯計后面板的DB15接口；DC9V電源適配器插入高斯計后面板的供電接口；若使用計算機遠程通信，還要用串口線將高斯計后面板的DB9接口連接到計算機串口。

2.DC9V電源適配器插入220VAC插座，高斯計即可上電工作，此時高斯計前面板紅色指示燈閃爍，液晶屏顯示磁場數(shù)據(jù)。

3.探頭校零：將霍爾探頭遠離磁場，觀察高斯計表頭顯示是否為零；若顯示不為零，需要將霍爾探頭進行校零；將探頭遠離磁場或放入零高斯腔中（推薦，此時將探頭前端平行伸入零高斯腔內(nèi)，不要碰著腔壁），然后在計算機上打開串口調(diào)試工具，輸入“zero”指令給高斯計，即可探頭校零。

4.探頭方向識別：霍爾探頭T-300為橫向探頭，磁場敏感元件位于探頭的前端約3mm位置；霍爾探頭手柄上有“錦正茂”標記的那面對著磁場N極時，高斯計顯示磁場值為正值；反之為負值。

5.儀器設置完成，進入正常測量狀態(tài)。