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公司新聞

高溫磁場加熱系統(tǒng)安裝成功

近日,我公司為江蘇某科技企業(yè)成功安裝一套高溫磁場加熱系統(tǒng)。

主要技術指標:

※  溫度范圍:室溫—350℃ (硅片上邊溫度)

※  控溫精度:±1℃

※  溫度分辨率:0.1℃

※  樣品尺寸:8英寸(需要有固定夾具,還有10mmx10mm,20mmx20mm樣品也需要考慮單獨固定)

※  樣品溫度:精圓上單獨放一個溫度計,測量精圓表面溫度(溫度計封裝在鍍金無氧銅塊內,銅塊與精圓接觸測溫,使用比

   較細的軟線方便移動與測量)

※  磁場強度:>1000oe(樣品測試處磁場)

※  持續(xù)工作時間:5小時

※  樣品臺尺寸:210mm (根據實際可更改,不小于8英寸),

※  樣品臺采用三維移動方式,移動行程:±110mm,移動精度:10um

※  樣品臺主要零部件材質均為上等無磁合金制作;

※  在室溫到350度,升溫速率優(yōu)于10K/min,*高加熱溫度350℃;控溫精度:±1℃;

※  加熱時,加熱絲被封裝在石英管內,極大程度的減少由于加熱絲的揮發(fā)造成樣品表面附著物的污染;

※  匹配磁鐵電源:雙極性,穩(wěn)定度優(yōu)于±25ppm/h,平滑過零無斷點;

※  匹配電磁鐵:長時間運行穩(wěn)定度<±0.5Gs;

※  冷卻方式:自然冷卻。

軟件1.1功能介紹:

※ 可以控制電流掃場,

※ 可以控制溫度變化,

※ 可以輸出電流測電壓得到電阻,

※ 可以輸出電壓測電流得到電阻,

※ 測試程序需要輸出數據及測試圖,

※ 采集記錄精圓處測量的數據

顯微鏡功能介紹

※  采用積木式結構,平行光路光學系統(tǒng);

※  0.6-5.0X連續(xù)變倍,1:8.3大變倍比。高分辨率、高對比度成像。重復定位;精度高,重復精度可達1um;

※  標配工作距離:86mm;

※  CCD接口可選:0.5X;

※  不同倍率輔助物鏡倍率可選:0.3X-2.5X。

※  采用842萬像素索尼新一代高動態(tài)范圍CMOS 圖像傳感器;

※  采用1/1.8英寸圖像傳感器;

※  HDMI*高4K 60幀圖像輸出;

※  支持拍照 ,JPG格式;

※  支持手動一鍵曝光

※  支持手動一鍵白平衡,紅、綠、藍可調;

※  提供8條畫線功能,線條顏色、粗細,位置可調;

※  支持U盤存儲;

※  支持鼠標操作;

※  拍照不抖動圖像更清晰;

※  支持中/英/繁語言(默認英文);

※  支持關機設置參數保存;

※  采用CNC精銑技術加工鋁合金外殼;

設備配置

※  定制高溫加熱樣品臺:1

※  手動探針:4

※  定制高溫控溫儀:1  JH401

※  定制電磁鐵:1  DZ-12

※  雙極性恒流電源:1   JCP-5/40SA

※  定制三維手動位移臺:1   PT80-50

※  樣品處溫度傳感器,及顯示器:1  PT100-BO

※  定制軟件:1套 1.1

※  內置高斯計:1臺  GP5

※  臺式計算機: 1臺 

※  顯微鏡:1套


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